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【中玻網】面板是寶島相當重要的產業之一,面板所需的設備數量、尺寸,均不遜于半導體產線,不過寶島的面板技術居于大部分國家優異地位,并無國外案例可參考,因此多必須自訂工安規范,以減少事故發生。
寶島面板廠導入安全規范的時間相當早,早在3.5代面板時,就已有相關作法,由于面板產業所使用的設備多與半導體產業類似,在廠房規劃仍套用半導體制造設備的安全規范SEMIS2,再加以衍生應用;但只要從設備的規格來看,就可發現面板業與半導體產業仍有重要差異,當時3.5代玻璃基板已經超過12英寸的晶圓尺寸,此一尺寸與半導體產業所需的廠房及設備規模完全不同,所可能造成的安全危害與風險程度也有所不同。
面板設備設計階段,就必須要求生產線上的所有設備,都應植入緊急關斷及緊急停止安全元件。
因應面板制程本質設計專屬工安規范
雖然該規范仍大部分適用于面板制造設備的需求,但將半導體設備規范直接套用在非常大尺寸的面板設備上,的確顯得有些格格不入,像是半導體產業的Chamberlid提舉設備應用于面板產業,就有可能產生承載強度不足等問題,面板產業因此修正改采固定式起重設備作為提舉器具,作業過程中仍可能發生人員操作吊荷的風險。
此外,半導體產業引用的SEMIS2規范中,著重于單一設備安全規范,但面板產業機臺為數個大型輔助設備組合而成,介面整合更形重要,因此對整合的安全問題必須更多著墨,但在SEMIS2卻付之闕如。
業界人士就指出,面板雖與半導體產業相近,但是不一樣的產業,LCD廠與半導體雖都追求設備規模與效率的較大化,但雙方本質不同,勢必會產生更多不同的安全要求,若設備商僅依循SMEIS2標準,面板廠與配合廠房的風險將不易管控,設備商在設備設計時,會對面板廠的安全需求無法理解,因此在生產線的規劃之初,同時針對面板制造的特質來進行安全防護規范的制訂。
因此,從4代跨到5代的面板廠開始規劃興建時,寶島面板業者開始投入制訂適合面板業的安全規范,從SEMIS2為基準調整,并在廠房及生產線規劃時同時導入這個規范。
由于寶島的面板技術位居大部分國家優異地位,并沒有相關的國外案例可參考,加上廠房設計的些許調整,生產線也因加速傳輸速度的需求,必須改變傳統的無塵室設計;新設計導入的當下,讓TFT-LCD制程上與傳統半導體產業間的差距擴大,部份制造上的安全要件易被忽略,因此制訂一套完整的第5代面板廠安全規范,就成了當時的首要考量。
完整工安設計邏輯
由于生產場域中設備的規格太多,安全訊息連結及整合的簡化與一致更是相當重要;再加上不同世代廠房的改變,如何整合成一個沒有灰色地帶,可完全掌握的生產場域,有經驗團隊的需求成為此時發展安全規范時不可或缺的項目。
適用于面板業或半導體產業的安全規范,在邏輯上并無明顯差異,主要的問題,多發生在操作的細微面,這些問題多是面板生產線上的“特殊危害”,尤其是大面板的生產線上,包括承載、用電及動力的安全需求,就與傳統半導體產業有些不同,像是機器手臂的操作要求等,就是SEMIS2中比較少著墨的。
此外像是“作業排除”程序要求,也與半導體產業有些不同,半導體由于設備機構規模較小,如果人員處理也僅有手或者身體的一部分進入參與;但機構大到某一個程度后,人體的重要部分就有可能會整個進入設備的機構中,危險系數就相對非常大。
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