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對于清洗玻璃基板時,主要清洗分別以微粒子污染、有機物、金屬物去微粒子的SEAL,與有關尼龍毛刷加以說明!@1)隨著玻璃基板之大型化,以刷輥清洗方式進行時,接觸面增大時磨擦力也隨之增加的情況下,運送時出現有不安定及洗凈效果不均等情況。?????2)按此問題計算,刷毛之直徑從本來的0.07mm改為0.05mm。增加植毛密度(3倍)后刷毛。?????接著力增加時,刷毛直徑0.07玻璃基板表面之摩擦力
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