集成電路超純水設備系統采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精mi過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精mi過濾器→di一級反滲透 →PH調節→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精mi過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

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集成電路用超純水設備系統工藝流程