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柱面鏡可達到的具體指標如下：較長：500mm，較小：1mm以下；外型：+/-0.02；中心厚：+/-0.02；光潔度：10-5?以上面型：如有特殊要求可以達到1/5λ，甚至更好。?月產量：10萬片上(6.25*6.25)
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