4000A（400nm）植入式柵極氧化固態(tài)劑量計(jì)

技術(shù)要求

典型數(shù)值在27°C

氧化層厚度4000A

輻射Vth靈敏度

輻射場(chǎng)= 0.125 MV/cm : 靈敏度= 1.33mV/rad 輻射場(chǎng)= 0 MV/cm : 靈敏度= 0.463mV/rad (靈敏度在 1.5 krad(H2O)，在以下讀寫器的配置中使用一個(gè)恒量10µA)

溫度補(bǔ)償

TVTC 2.5mV/°C(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值.)

線性模式中Z.T.C. 數(shù)值~ -500nA(Vs=Vb=0, Vds=-0.1)

飽和模式中Z.T.C.數(shù)值~ -1µA(使用以下讀寫器電路配置)

預(yù)輻射劑量計(jì)的特點(diǎn)

閾值電壓（外推） -1.0 +/- 0.4V

Vth漂移時(shí)間（秒） 2.5mV/十年(該數(shù)據(jù)出自讀寫器配置強(qiáng)迫40µA)

氧化層擊穿電壓~280V

溝道漏電流 Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 25 pA

亞閾值斜率220 +/- 20 mV/decade

溝道電阻 Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.75 Mohms

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