我國TFT-LCD產業近年來發展迅猛，投入資金規模逐年加大，而投入資金的主要部分用于TFT-LCD工藝設備的采購。來自DisplaySearch的統計數據表明，2006年大部分國家對液晶設備的投入資金高達118億美元。因此，很多設備生產廠商對這個市場趨之若鶩。包括應用材料、東京電子這樣的半導體設備公司，已經將觸角伸向TFT-LCD市場，他們成立下屬公司專門負責TFT-LCD設備的生產銷售及技術支持。可喜的是國內設備廠商的設備也已進入液晶大生產線，雖然所占比例很小，但畢竟邁出重要一步。

    國產TFT-LCD設備嶄露頭角

    TFT-LCD設備由于其工藝性要求高、制造難度大，一直被國外少數公司壟斷。近年來由于我國設備廠商技術水平的不斷提升，相繼研制生產出部分LCD制造設備及測試儀器。測試儀器以高校和研究所為主，如清華大學、長春物理所都開發生產了如液晶盒厚測量儀、液晶光電參數測試儀等測試設備；制造設備從較初的玻璃切割機、偏光片切割機、灌晶機等單臺設備，發展到可以生產成套的TN用清洗等前段設備和對摩擦線、板線等要求更高的設備。

    由北京七星華創電子股份有限公司(以下簡稱七星電子)研制成功的具有自主品牌的TFT-LCD五代生產線設備已在國內液晶大生產線投入使用。其中自動移載機已于2006年7月交付京東方TFT—LCD五代線使用，目前運轉正常，使用效果良好；CELL段清洗機零部件本地化加工超過80%，2006年8月底也已在京東方五代線安裝完畢，并于9月30日正式投入使用，目前運行良好。據了解，七星電子根據我國未來TFT-LCD生產線的建設趨勢，已開始著手設計六代線的移載/傳送類設備，六代線的其他設備也將陸續開始研發。此外，清大天達OEM的五代摩擦機已進入五代TFT-LCD生產線。山西太原中電科技集團第二研究所生產的COG設備已經進入日資企業的生產線使用。

    中國電子專項使用設備工業協會秘書長金存忠表示，在TFT-LCD液晶顯示器市場迅猛增長的推動下，今年我國將有一批TFT-LCD前工序的新設備進入大生產線，這必將帶動我國TFT-LCD液晶顯示器其他生產設備的發展。

    應遵循從后到中到前步驟

    盡管國產設備已進入國內大生產線，但我國內地液晶設備就其規模和水平來看，與LCD器件和相關材料比，仍顯得滯后一些。國內設備目前仍停留在比較低端、分離單臺產品階段，面板生產線上的系統成套設備、高等前工序核心設備及測試裝備只能依賴進口。同時，在進口的核心設備上，不少關鍵零部件還必須再依賴進口，這將導致工廠的后續服務成本偏高，而且還必須受制于人。因此發展液晶產業，作為為其配套的設備業要得到發展，還需要各方面給予更多的支持和關注。

    業內相關人士給出建議，國內企業應從TFT-LCD后工序設備入手，要點在TFT-LCD移載設備、清洗設備、摩擦線設備、COG設備和TFT薄膜沉積設備等方面形成配套能力；積較開展6代面板生產線陣列等前道工藝設備的研究開發，要點提高濕/干法刻蝕機、液晶灌注機等研制水平。

    七星電子袁國林告訴記者，TFT-LCD生產設備對于TFT-LCD產業至關重要，TFT-LCD生產設備固化了很多生產工藝，只有好的設備，才能生產出好產品。TFT-LCD生產設備技術含量和自動化程度都很高，由于國內現有技術水平的限制，國產設備進入大生產線還需要有一個過程。

    他建議，應籌備面板生產企業、設備研制企業、相關研究機構及科研院所形成產業集群，給產業整體發展提供良好的合作環境；還應出臺相關的鼓勵政策，在資金、稅收、資金、人才等方面扶持本國TFT-LCD設備研制相關企業的發展，同時，吸引國外設備企業與國內企業的技術合作，促進國內企業的盡快成長。此外，企業自身應加強與國內外企業和科研單位的交流，爭取獲取更多的技術交流與商業合作機會。

    設備的本土化是每個液晶生產企業必須要走的路。北京清大天達副總經理王躍光介紹說，目前，韓國設備的本土化率已經達到50%，到2010年將達到80%左右。而我國寶島液晶生產設備的本土化率也已達到30%，未來幾年將達到50%以上。和他們相比，我國液晶生產設備不足2%的市場占有率顯得微不足道。他表示，雖然我國液晶生產設備起步較晚，但是我國在TN、STN、CSTN設備上是有一定基礎的，國產設備覆蓋率已達80%，且均有自主知識產權，其典型產品有盒厚測量、摩擦、切割、灌晶除泡等設備。而TFT設備尚存在一定差距，但也不必從頭開始，而是可以通過合資、合作或引進的方式，迅速進入角色，從而縮短與全部廠商之間的距離。TFT-LCD設備也同半導體設備相似，國內企業也應從后道工序著手進入，因其技術含量相對前道來講低，進入門檻相對較低，因此，國內企業應從此進行打破，循序漸進，逐步覆蓋TFT-LCD生產線從后到前整個設備。

    業內相關人士接受《中國電子報》記者采訪時表示，雖然目前國內生產設備已進入液晶生產線，但所占的份額遠遠沒有達到大家的預期。因此，要改變現狀，需要在研發上得到相關部門及各方更大力度的支持和企業執著的推進，設備廠商應與面板廠商密切合作，建立聯盟，力求從研發開始與面板廠商合作。