直流磁控濺射電源

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調(diào)整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現(xiàn)。電源具有良好的負(fù)載特性，性價(jià)比高，適用于金屬及部分反應(yīng)膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出電壓 空載800V 滅弧時(shí)間 ≤20uS

2024-04-29 0

疊加偏壓電源

BOMB VS 系列偏壓電源工作于高頻二級(jí)變換模式，有單極脈沖、直流疊加脈沖、低壓直 流三種輸出方式，主電源電壓、副電源電壓、脈沖寬度獨(dú)立調(diào)整。靈活的輸出方式適用于工 具膜、裝飾膜以及工藝開(kāi)發(fā)等多種應(yīng)用環(huán)境，特別是直流疊加脈沖的方式，在控制工件溫 度的同時(shí)，本底直流電壓有效維持了偏壓的連續(xù)狀態(tài)，對(duì)工具鍍膜十分有利。

2024-04-29 0

直流磁控濺射電源

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調(diào)整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現(xiàn)。電源具有良好的負(fù)載特性，性價(jià)比高，適用于金屬及部分反應(yīng)膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出

2024-04-29 0

中頻交流磁控濺射電源

?? SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級(jí)高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設(shè)為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個(gè)濺射靶作為負(fù)載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內(nèi)一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應(yīng)膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW

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中頻交流磁控濺射電源

?? SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級(jí)高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設(shè)為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個(gè)濺射靶作為負(fù)載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內(nèi)一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應(yīng)膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW

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大功率中頻磁控濺射電源

? ? SSTH系列中頻磁控濺射電源工作于二級(jí)高頻變換模式，交流正弦輸出。中頻濺射電源以兩個(gè)濺射靶作為負(fù)載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內(nèi)一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒。SSTH系列中頻交流磁控濺射電源具備獨(dú)特的電弧抑制功能，有效克服電弧對(duì)膜層造成的瑕疵，預(yù)警系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示電源工作狀態(tài)，以便及時(shí)排除

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弧電源

SALN型弧電源工作于高頻變換模式，直流輸出，電源電流調(diào)整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現(xiàn)。電源具有負(fù)載補(bǔ)償電路，負(fù)載特性良好，由于采用電流傳感器作為電流取樣，有較高的電流穩(wěn)定率，適用于各類裝飾及工具鍍膜。另外，電源內(nèi)置長(zhǎng)效引弧電阻并設(shè)短路指示，直觀顯示電源的工作狀態(tài)。電源采用軟開(kāi)關(guān)模式工作，效率高，電磁兼容性好。此外，本系列電源具有很高的性價(jià)比。 電源功率 4.8KW

2024-04-29 0

弧電源

SAHN型弧電源工作于高頻變換模式，直流輸出，電源電流調(diào)整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現(xiàn)。電源具有負(fù)載補(bǔ)償電路，負(fù)載特性良好，由于采用電流傳感器作為電流取樣，有較高的電流穩(wěn)定率，適用于各類裝飾及工具鍍膜。另外，電源內(nèi)置長(zhǎng)效引弧電阻并設(shè)短路指導(dǎo)，直觀顯示電源的工作狀態(tài)。電流效率高，比硅整流電源節(jié)電40%左右。 電源功率 4.8KW 輸入

2024-04-29 0

偏壓電源

BOMB-IIIS系列偏壓電源工作于二級(jí)高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調(diào) 整通過(guò)改變高頻變換電路的電源電壓來(lái)實(shí)現(xiàn)，調(diào)壓電路具有1%的穩(wěn)定率。高頻變換電路產(chǎn) 生10-90%寬度可調(diào)的脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨(dú)立調(diào)整，在滿足工藝所 需電壓同時(shí)，通過(guò)改變脈沖寬度來(lái)控制工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍膜

2024-04-29 0