光學鍍膜材料目錄 氧化物： 游離態一氧化硅（SiO）, 一氧化硅（SiO）,二氧化鋯（ZrO2）、一氧化鈦（TiO）、五氧化三鈦（Ti3O5）、二氧化硅（SiO2）、二氧化鉿（HfO2）、二氧化鈦（TiO2）、三氧化二鈦（Ti2O3）、（Ti2O3）、五氧化二鈮（Nb2O5）、三氧化二鋁（Al2O3）、 氧化鎂（MgO）、氧化釔（Y2O3）、氧化釤（Sm2O3）、氧化鐠（Pr6O11）、 氧化鎢（WO3）、氧化銻（Sb2O3）、氧化鎳（Sb2O3）、三氧化二鐵（Fe2O3）、 氧化錫（SnO2+Pt(0.5～1%)）、二氧化鈰（CeO2）、氧化釓（Gd2O3）、 二氧化釹（Nd2O3）、氧化鋅（ZnO）、氧化鉍（Bi2O3）、氧化鉻（Cr2O3）、氧化銅（CuO）、氧化釩（V2O5） 靶材： 鉻靶、單晶硅靶、多晶硅靶、二氧化硅靶、鈦靶、鎳靶、鋁靶、銅靶、鋅靶、錫靶、鋯靶、鈷靶、鍺靶、鉿靶、金靶、銀靶、鉑靶、鉭靶、鈮靶 氟化物: 氟化鐿（YbF3）、氟化釔（YF3）、氟化釤（SnF3）、氟化釹（NdF3）、 氟化鎂（MgF2）、氟化鍶（SrF3）、氟化鉀（KF）、氟化鑭（LaF3）、 氟化鉺（ErF3）、氟化鏑（DyF3）、氟化鈰（CeF3）、氟化鋇（BaF2）、 氟化鈣（CaF2）、氟化鈉（NaF） 其他材料： 冰晶石（Na3AlF6）、硫化鋅（ZnS）、鋁絲（Al）、鈦酸鍶（SrTiO3）、鈦酸鋇（BaTiO3）、鈦酸鐠（PrTiO3）、鈦酸鑭（LaTiO3）、硫化鎘（CdS）、 二鈦酸鐠（Pr（TiO3）2），硒化鋅，鉻粒

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