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JPGF系列鍍膜機
基本信息
型號 參數 |
JPGF-400 |
JPGF-450 |
JPGF-700 |
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濺射室尺寸(內徑×高度) |
Φ400×250 |
Φ450×270 |
Φ700×350 |
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濺射方向 |
由下往上(或由上往下) |
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真空室頂蓋提升 |
電動 |
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極限壓力/Pa |
8×10-5 |
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抽氣時間/min |
從1×105Pa至2×10-3Pa≤20 |
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濺射工作壓力/Pa |
10~10-1 |
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真空系統 |
分子泵系統氣動閥門 |
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濺射靶尺寸/mm |
Φ60 |
Φ80 |
Φ100或Φ150 |
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濺射靶數量/套 |
3 |
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濺射靶電源 |
射頻 |
功率/W |
500 |
1000 |
1000 |
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數量/套 |
1 |
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直流 |
功率/W |
1000 |
2000 |
4000 |
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數量/套 |
1 |
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工件旋轉/r·min-1 |
5~25 |
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工件盤直徑/mm |
Φ350 |
Φ400 |
Φ600 |
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烘烤溫度/℃ |
室溫~300℃(可調) |
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工藝氣體控制方式 |
一套質量流量控制器,一套自動壓強儀 |
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冷卻水流量/L·min-1 |
~15 |
~20 |
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水壓/kPa |
≤25 |
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進水溫度/℃ |
~2.5×105 |
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壓縮空氣/kPa |
(5~8)×105 |
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用電功率/kW |
9 |
10 |
20 |
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占地面積/mm |
2000×1800×1900 |
2000×1800×1900 |
2000×2000×2100 |
北京北儀創新真空技術有限責任公司基本信息
北京北儀創新真空技術有限責任公司(原北京儀器廠)創建于1954年,總部位于中點商務區(CBD)的中心位置。生產基地位于大興工業開發區,占地面積31064平方米,建筑面積45504平方米。2003年通過ISO-2000質量體系認證。共有真空獲得、真空測量、真空應用三大類產品,從低真空到非常高真空30多個系列160多個品種。產品廣泛地應用于航天航空、電子信息、光學產業、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環保及新能源等行業。經過50多年對真空技術的探索,通過與全國多所大專院校、研究院所進行的多次合作開發,以及公司研發人員不斷的創新與研發,北儀創新公司始終站在中國真空行業的前沿。在真空測量技術、真空獲得技術、光學多層全自動鍍膜技術、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(DC、MC、RF濺射技術)以及PECVD技術等方面處于國內,并有多項科研成果獲得國家專利。近年來,為多個院校、研究院所開發制造多臺用于研究薄膜太陽能電池的實驗室設備。在擁有成熟的真空技術的基礎上,2006年北儀創新公司研制成功了國內首條自行設計制造的非晶硅薄膜太陽能電池生產線,其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術,用于生產大型玻璃光電模板一次完成多片數十平方米的雙節非晶硅薄膜的沉積,在相對低的設備投入資金下取得高額回報。
公司網址:http://bjbyzk.glass.com.cn
產品屬性:
計量單位:臺 供貨總量: 最小起訂量:1 產品單價:0.00 品牌: 規格型號: 包裝說明: