磁控濺射靶材廣泛應用于用于建筑/汽車玻璃工業、薄膜太陽能工業、平面顯示工業、裝飾/功能鍍膜工業。隨著國內靶材行業研發的投入和發展，國內已有靶材供應商、制造商的生產出來的靶材達到了進口的水平。在廣州，尤特新材料成為全球全球較好個研制最長、最厚旋轉靶材的制造商，隨著研發的持續投入，國內靶材行業的未來值得期待。

磁控濺射是一種物理氣相沉積的。濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料，具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點。因為是在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。

平面靶材主要產品目錄 Planar Target List

1. 鉻靶（Cr Target）

2. 硅靶（Si Target）

3. 鈦靶（Ti Target ）

4. 石墨靶（C Target）

5. 銀靶（ Ag Target）

6. 銅靶（ Cu Target）

7. 鈦鋁合金靶（TiAl Alloy Target）

8. 鎳鉻合金靶（NiCr Alloy Target）

9. 氧化鈦靶（TiOx Target）

10. 鉬鈮靶 （MoNb Target)

11. 鋁釹靶 （AlNd Target)

12. 氧化鈮靶 (NbOx Target）

13. 氧化鋅鋁靶 (AZO Target)

14. 氧化鋅靶 (i-ZnO Target )

15. 鉬靶 (Mo Target)

1 靶材應用行業分類

1.1 裝飾、工模具鍍膜行業靶材鉻靶（Cr），平面鉻靶，噴涂鉻管；

鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦靶，鈦管靶，鋯靶；

金靶，玫瑰金靶；

石墨靶，鎳靶，鋁靶，不銹鋼靶等。

1.2 太陽能光伏光熱行業靶材

氧化鋅鋁靶ZAO； 硅靶；鈦靶、氧化鈦靶；鋁靶；鉻靶、鎳鉻；鋅鋁、鎢、鉬

靶等。

1.3 建筑汽車玻璃大面積鍍膜

硅鋁靶、旋轉硅鋁靶；氧化鈦靶；錫靶；鉻靶；硅靶；鈦靶、不銹鋼靶。

1.4 平面顯示行業

ITO 靶；二氧化硅靶；高純硅靶5-7N；高純鉻靶3N5；TFT 鉬靶；鉬鈮靶；鎢鈦

靶90/10wt%；高純鋁靶等。

1.5 光學，光通信，光存儲行業

銀靶；鉭靶；硫化鋅靶；高純鋁靶；硅靶。

2 常用靶形

常用靶形有電弧靶、平面靶、旋轉管靶。

2.1 平面靶材利用率提高方式

（1）改變磁鐵運動方向

（2）改變磁力線分布寬度和高度

2.2 靶材性能與要求

靶材質量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學等性能，因而對靶材質量的評判較為嚴格，主

要應滿足以下要求：雜質及氧含量低、純度高；致密度高；成分與組織結構均勻；晶粒尺寸細小。

2.3 劣質靶材缺陷

a)和b)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

c)靶面有凹痕為引弧針安裝不當導致的

d)水晶鍍膜靶材密度不夠，燒蝕后區別

e)等離子噴涂氧化鈦旋轉管靶不良

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發展，產業技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。

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