科技日報：ITO靶材屬于35項卡脖子技術之一。UVTM掌握濺射靶材生產的核心技術以后，實施極其嚴格的保密措施，限制技術擴散，目前制備太陽能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等在國內處于****水平。在中國光伏產業迅猛發展的前提下，作為薄膜太陽能電池上游的太陽能電池靶材市場規模也會保持高速發展。平板顯示器不斷向大尺寸方向發展，平板顯示器的出貨面積逐年加大；單個硬盤容量的逐年增長，推動了硬盤年銷售總容量持續增長。國內大的半導體芯片用濺射靶材生產商，主要產品為各種高純濺射靶材，鉭靶、鎢鈦靶、LCD用碳纖維支撐等。高純度濺射靶材主要應用于電子元器件制造的物理-氣相沉積工藝。高純鋁及鋁合金是目前使用廣泛的導電層薄膜材料之一。

在這樣的產業背景下，大部分國家對于晶圓的需求量將不斷提升。據SEMI預測，未來兩年，大部分國家晶圓出貨量將從2017年的11448百萬平方英寸上升到2019年的12235百萬平方英寸.年復合增長率為3.38%。 基于此，2017年，大部分國家晶圓制造材料市場規模達到259.8億美元，其中，靶材在晶圓制造和封測中占比均在3%左右，預計2018年大部分國家晶圓制造用靶材的市場增速可達19%，封測用靶材增速更高，將達到26%。 靶材所選背管需要具有良好的導電性和導熱性，可為金屬或合金。進一步地，可以是不銹鋼，Mo，Ti，Ta，Cu，Al，Cr 等。根據靶材厚度不同選用槽寬不同的活動座，并可以根據靶材的長度調節各活動座的，使各活動座協同作用能夠很好的起到支撐靶材的作用，避免靶材存放中由于支護不適而出現變形，能夠很好的適用于各種靶材。濺射靶材在制備技術上按生產工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類。在靶材制備過程中，在嚴格控制純度、致密度、晶粒度、結晶取向的基礎上，通過選擇不同的熱處理工藝及后續成型加工過程以確保靶材的質量。

通常的銦純度都是4N的，也就是99.99%，要做6N（99.9999%）的銦，需要利用這一特性對銦金屬進行真空熔煉可以把里面的蒸氣壓高的金屬雜質除掉。日本是大部分國家主要的半導體材料生產國，并在半導體材料里長期保持優勢，生產半導體芯片需要19種左右的必須的材料，缺一不可，且大多數材料具備非常高的技術壁壘。其中日本企業在硅晶圓、合成半導體晶圓、光罩、光刻膠、靶材料、保護涂膜、引線架、陶瓷板、塑料板、TAB（捲帶式自動接合）、COF（薄膜復晶）、焊線、封裝材料等14種重要材料方面均占有50%以上的份額。

UVTM的金屬靶材作為應用于手機玻璃蓋板的重要靶材產品，已獲得多家手機玻璃蓋板生產客戶的認可，并已實現批量供貨。在市場需求和政策鼓勵下，國內半導體市場保持著平穩較快發展，國內半導體材料產業、靶材產業規模也日益擴大，其增速高于大部分國家增速，在大部分國家市場中所占份額逐漸提升。得益于中國大陸晶圓廠建設的迅猛勢頭，中國已經成為大部分國家具潛力的半導體材料新興市場。2016年國內半導體用濺射靶材市場規模打破14億元，大部分國家半導體用濺射行業高層度研究靶材市場規模打破12億美元。我們預測，未來5年，國內高純濺射靶材市場規模年復合增長率可達到13%，總規模超過25億元。目前，霧度控制比較好的商業化TCO玻璃是AFG的PV-TCO玻璃。

色彩一直是時尚設計的熱點，而手機配色也是F設計師們設計的重點之一。5G時候手機后蓋去金屬化，然而不管是玻璃、陶瓷、塑膠材質的手機外觀結構件，F設計師們都會考慮酷炫紋理、金屬質感、亮銀色、陶瓷光澤、漸變色等效果，而這些良好的裝飾效果都離不開PVD真空鍍膜。金屬中框也需要和后蓋保持同樣炫麗的外觀，iPhoneXS金色及太空灰色系列不銹鋼中框就是采用的PVD色彩工藝。磁控真空鍍膜的源頭材料，又稱濺射靶材。高純鋁及鋁合金是目前使用廣泛的導電層薄膜材料之一。和超大規模集成電路芯片的制造對濺射靶材金屬純度的要求相比。太陽能電池用鋁靶的金屬純度略低，99.995%（4N5）以上。鋁靶、銅靶用于導電層薄膜，鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜。

實行科學嚴格的制度、生產工藝和操作規程，從產品的研發、生產到銷售、服務各個環節都嚴格確保符合質量體系的要求。其中靶材就是做芯片的重要材料。知名的就是外芯片——英偉達，直屬于行業老大。但是隨著中的實力日漸強度，我們的華為已經自主的研發生產出與之抗衡的電子芯片。完全打破了直采用外技術的這現象。像超大規模集成電路芯片制造域是靶材高的應用，其對靶材金屬純度的要求高通常要求達到99.9995%(5N5)以上。為了有效地降低磁控濺射的電壓，以達到降低ITO薄膜電阻率的目的，可以采用一套特殊的濺射陰極結構和濺射直流電源，射頻電源合理地匹配疊裝在一套6KW的直流電源上，在不同的直流濺射功率和射頻功率下進行降低ITO薄膜濺射電壓的工藝研究。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發展，產業技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。

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