靶材的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān)。不斷研發(fā)滿足薄膜性能要求的新型靶材發(fā)展。經(jīng)過多年的科技攻關(guān)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，目前國內(nèi)高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)逐漸打破關(guān)鍵技術(shù)門檻，打破了零的局面，生產(chǎn)能力，可以預(yù)見未來會達到高速發(fā)展時期。隨著消費電子等終端應(yīng)用的飛速發(fā)展，高純度濺射靶材的市場銷售額日益擴大。中國及亞太地區(qū)靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。研究用大量不同的沉積技術(shù)用來沉積生長各種薄膜。其中靶材是制作薄膜的關(guān)鍵，靶材品質(zhì)的好壞對薄膜的意義重大。磁控膜玻璃出現(xiàn)脫膜現(xiàn)象幾大原因：原片存放因素，玻璃表面越新鮮，表面活性越大，與膜層的結(jié)合力越強，反之則差。使用存放期過長的玻璃，由于玻璃表面霉變和附著的污物會大量增加。

根據(jù)世界半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計協(xié)會2018年的數(shù)據(jù)，靶材應(yīng)用領(lǐng)域中，面板市場占比較大，達33.8%，其次是記錄媒體，占比達到28.6%，光伏電池占18.5%，半導(dǎo)體規(guī)模目前僅有11.4%。不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Π胁募兌纫蟛煌Ｔ诮饘偌兌确矫妫雽?dǎo)體靶材純度要求通常達99.9995%（5N5）甚至99.9999%（6N）以上，顯示靶材純度要求99.999%（5N），磁記錄和薄膜光伏電池純度通常是99.99%（4N）。預(yù)計到2023年，大部分國家和國內(nèi)半導(dǎo)體對靶材的需求將分別上升至86.3億、21億元。國內(nèi)半導(dǎo)體靶材需求占比將從2018年的16%上升至2023年的24%。“2019年度中國濺射靶材品牌評選”是由品牌排行網(wǎng)主辦的范圍廣、規(guī)模大的品牌綜合實力排名評選活動。經(jīng)過多審核精選，尤特新材料（UVTM）被評為行業(yè)品質(zhì)出眾、旺的品牌。

HIT電池主要使用ITO靶材作為其透明導(dǎo)電薄膜。HIT電池是在晶體硅上沉積非晶硅薄膜，其結(jié)構(gòu)是以N型單晶硅片作襯底，正反面依次沉積本征非晶硅薄膜、摻雜非晶硅薄膜、金屬氧化物導(dǎo)電層TCO，再通過絲網(wǎng)印刷制作正負電極，從而導(dǎo)出電流。比較成熟，成本占比不高，大約5%左右。HIT 薄膜電池帶動光伏靶材需求。目前國內(nèi)光伏電池主要以硅片涂覆型太陽能電池為主，薄膜電池以及HIT占比較低，但是未來增長潛力較大。2018年大部分國家薄膜電池量保持11%增長，預(yù)計未來維持10%以上；HIT有望保持高速增長，隨著國內(nèi)投資熱情高漲，產(chǎn)能有望從目前2GW增長至2024年的100GW以上。綜合測算，預(yù)計我國太陽能電池用靶材市場規(guī)模持續(xù)擴大。CAGR保持在15%以上，到2024年，我國太陽能電池用靶材行業(yè)市場規(guī)模有望打破70億元。

真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等），真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其優(yōu)質(zhì)的測量規(guī)管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 針閥及相應(yīng)的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測量。根據(jù)設(shè)備使用特點。可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。完善的報警系統(tǒng)，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。德純靶材。

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