20世紀90年代以來靶材已蓬勃發展成為一個專業化產業，中國及亞太地區靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。大量不同的沉積技術用來沉積生長各種薄膜 ，而靶材是制作薄膜的關鍵，品質的好壞對薄膜的意義重大。目前高等品質靶材主要由:日本、德國和美國生產，我國靶材產業起步較晚，在產品質量與精細標準上與國外有不少的差距，國內也有許多大學及研究機構對靶材積極投入了大量鉆研與開發，經過這幾年的發展也涌現了一批在靶材行業較好的公司和院校。在國內占據了大部分中等和要求不高的靶材市場份額。

在裝飾鍍膜中也有著廣泛的應用,獲得光亮、美觀、;價廉的塑料，陶瓷表面金屬化制品。廣泛應用于汽車、摩托車燈具、工藝美術、裝潢裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、化妝品、手機、鬧鐘、女式鞋后跟等領域。ITO有著多種功用,首先ITO為高帶隙材料,可用作光電池的光入射窗口,又可作為收集光電流的電極,在基底半導體Si上形成勢壘作為SIS結的一層以及抗反射層。銦礦資源集中分布在中國、玻利維亞、俄羅斯等國。日韓美是重要的銦消費國,也是我國原生銦的主要***國。高純濺射靶材市場規模將超過160億美元，年復合增長率達13%。近年來，磁控濺射靶材是國家鼓勵和發展的新材料產業。對于ITO靶材，我國有銦資源優勢。

而Low-E膜層厚度僅為隧穿的10%～20%。合理考慮膜層所含元素對數據的影響，可以大致判斷基底玻璃在缺陷區域內的變化程度。(3)相比基片，由于鍍膜引入了部分的Si，綜合Ca/Na比值下降（鍍膜材料中也不含有Ca），可以判斷是Na含量超出基片正常值而導致缺陷處相應元素含量比值的大幅下降。氧化物靶材。?銅銦鎵硒（CIGS）5N高純鋁靶光伏太陽能靶材靶材生產商對工業鍍膜及相關制品加工中出現的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS進行觀測。分析并比較缺陷/正常區域在形貌結構、組成上的差異，尋找缺陷成因，進而研發相應的生產及品質改進辦法。（1）Low-E膜層中不含有Na，以基質中的Na作為標定物是相對穩定的。（2）電子束的隧穿達到約1.5m。不會隨著膜系更改、膜層的而發生元素含量上的變化。陶瓷靶材。

靶材，特別是高純度濺射靶材應用于電子元器件制造的物理-氣相沉積工藝（PVD）、太陽能電池等表面電子薄膜的關鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術，也是PVD的一種。它通過在PVD設備中用離子對目標物進行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱為濺射靶材。IGZO，氧化銦錫，氧化鋅鋁，AZO，ITO，氧化錫，二氧化錫，氧化鋯，氧化鉬，氧化鈷，四氧化三鈷，氧化亞鈷，氧化銀，氧化鈣，等高純氧化物。

真空設備檢修三要素的方案：1首先判斷出起主要作用的是什么因素，找到問題的所在，從而采取相應的措施加以解決。2真空測量真空測量是指用特定的儀器、對某一真空設備空間內真空度高低的量度。因此真空測量儀表好壞直接影響設備正常運行。真空計的種類很多，大體上可分真空計和相對真空計兩大類。凡通過測定物理參數直接計出氣體壓強的真空計稱為真空計。通過測量與壓強有關物理量，并進行計算得到壓強值的真空計稱為相對真空計。真空計精度較高，一般作為標準用，在實際生產中，大都使用相對真空計。

為了防止在加熱時電極過熱致使密封，對電極通水冷卻。電阻加熱元件采用高熔點的金屬鉬片制成舟狀，機械泵：機械泵是利用機械方法來獲得低真空的主要設備，也是高真空機組的前級泵。機械泵主要有圓柱形定子、偏心轉子和滑動翼片組成。機械泵不宜用于抽蒸汽；轉動方向必須是順時針方向；停止工作后要防止“返油”，故在抽氣口裝有電磁閥。擴散泵：當機械泵的極限真空不能滿足工作要求時，通常采用油擴散真空泵來獲得高真空。目前靶材市場主要分布于韓國、中國、日本，中國有超過20家靶材生產企業，依靠國內的巨大市場潛力和利好的產業政策，以及產品價格優勢，國內的靶材制造商已經在國內市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細分領域搶占了部分國際大廠的市場空間。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發展，產業技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。

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