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基本信息
綁定式磁控濺射旋轉靶材,包括背管(I)和固定套結在背管(I)外壁的靶管(3),其特征在于:所述固定套結在背管(I)外壁的靶管(3)為至少一個,所述背管(I)外壁設有開口槽(2),靶管(3)通過填充在開口槽(2)內的無銦釬焊材料旋轉加熱焊接固定在背管(I)夕卜壁。2.根據權利要求1所述綁定式磁控濺射旋轉靶材,其特征在于:所述開口槽(2)為半圓形螺旋槽。3.根據權利要求2所述綁定式磁控濺射旋轉靶材,其特征在于:所述半圓形螺旋槽螺距是槽深的一半。4.根據權利要求1所述綁定式磁控濺射旋轉靶材,其特征在于:所述靶管(3)內壁與背管(I)外壁間隙為0.2—0.4mm。5.根據權利要求1所述綁定式磁控濺射旋轉靶材,其特征在于:所述靶管(3)為兩個以上時,革E管⑶與靶管(3)之間間隙小于0.5mm。6.根據權利要求5所述綁定式磁控濺射旋轉靶材,其特征在于:所述靶管(3)為兩個以上時,靶管(3)與靶管(3)之間使用硅橡膠墊(4)和高溫膠帶密封。7.根據權利要求1-6中任一所述綁定式磁控濺射旋轉靶材,其特征在于:所述靶管(3)為三個以上時,設置在兩端部的兩個靶管(3)比中間靶管(3)厚30 % — 50 %。廣面。
濺射技術,濺射是制備薄膜材料的主要技術之,它利用離子源產生的離子,在真空中經過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是制備濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、太陽能光伏、記錄介質、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用UVTM可提供硅材料等,硅靶材和晶圓的直徑可達18英寸。目前,硅晶圓主流尺寸為8英寸、12英寸。UVTM的硅靶材作為應用于手機玻璃蓋板的重要靶材產品,已獲得多家手機玻璃蓋板生產客戶的認可,并已實現批量供貨。ito。
半導體芯片行業用的金屬濺射靶材,主要種類包括:銅、鉭、鋁、鈦、鈷和鎢等高純濺射靶材,以及鎳鉑、鎢鈦等合金類的濺射靶材。銅靶和鉭靶通常配合起來使用。目前晶圓的制造正朝著更小的制程方向發展,銅導線工藝的應用量在逐步加大,因此,銅和鉭靶材的需求將有望持續增長。鋁靶和鈦靶通常配合起來使用。目前,在汽車電子芯片等需要110nm以上技術節點來保證其穩定性和抗干擾性的領域,仍需大量使用鋁、鈦靶材。高純貨品靶材被譽為半導體芯片材料的強者,半導體產業對濺射靶材和濺射薄膜的品質要求非常高,隨著更大尺寸的硅晶圓片制造出來,相應地要求濺射靶材也朝著大尺寸、高純度的方向發展,同時也對濺射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。
由于HJT電池的工藝要求較高,因此ITO濺射靶材的比例和純度非常重要。什么是高純濺射靶材?就是利用各種高純單質貨品及新型化合物制得的功能薄膜為(簡單理解就是純度更高),主要用于對材料純度、穩定性要求更高的領域,像集成電路、平板顯示器、太陽能電池、記錄媒體、智能玻璃等行業。在濺射靶材應用領域中,半導體芯片對濺射靶材的要求是比較高的,要求靶材純度很高,一般在5N(99.999%)以上。日本在電子行業的上游材料領域占據了優勢,在硅晶圓材料、光罩、靶材等重要的細分子領域的市場份額都超過50%。高純靶材用量較大的行業主要有半導體集成電路、平板顯示器、太陽能電池、磁記錄介質、光學器件等。AZO靶材是其中一種制造高科技節能玻璃鍍膜材料。銀銅合金靶材供應。洛純靶材。
目前,大部分國家的靶材制造行業,特別是高純度的靶材市場,呈現寡頭壟斷格局,主要由幾家美日大企業把持,如日本的三井礦業、日礦金屬、日本東曹、住友化學、日本愛發科,以及美國霍尼韋爾、普萊克斯等。日礦金屬是大部分國家大的靶材供應商,靶材銷售額約占大部分國家市場的30%,霍尼韋爾在并購JohnsonMattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產廠后,占到大部分國家市約20%的份額,此外,東曹和普萊克斯分別占20%和10%。氧化鋅是一種透明導電膜材料。以ZnO粉末和Al_2O_3粉末為主要原料,以常壓、空氣氣氛燒結為手段制備透明導電膜用ZnO陶瓷靶材。研究結果表明:粉末成型壓力為3MP時,靶材電學性能佳;當Al:Zn原子比為4.100時,ZnO的電阻率低,達4.1×10~(-3)Ω·㎝,當Al摻雜量超過某一數值后,Al不再以替位離子形式存在,而是與周圍的Zn、O原子共同作用,生成鋅鋁尖晶石相,從而導致材料的電阻率升高。噴涂靶話。
廣州市尤特新材料有限公司基本信息
廣州市尤特新材料有限公司(以下簡稱“尤特”),成立于2003年,位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點,經過10多年的開拓與發展,產業技術不斷迭代與升級,尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大,其中主要包括:真空鍍膜靶材;環保(UV/水性)材料;觸控顯示材料;印刷技術及材料;信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理,先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行,產品符合全部環境及安全標準;獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新,先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制,并承擔多項省市立項的科研項目,公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權,是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽:如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值,分享價值“的核心價值觀,借鑒以往成功管理運營經驗,持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場,不斷拓寬市場應用領域,做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。
員工人數:200-500人 廠房面積: 年營業額:
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公司名稱:廣州市尤特新材料有限公司
注冊資本:人民幣2000萬元/年-人民幣5000萬元/年 公司網址:http://UVTMCOM.glass.com.cn產品屬性:
計量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產品單價:1000.00 品牌: 規格型號: 包裝說明: