AZO靶材即在Zno體系中摻雜Al,通過濺射得到Zno:Al透明導(dǎo)電薄膜,即AZO薄膜,摻雜后薄膜導(dǎo)電性能大幅度提高,廣泛用于制備太陽能電池透明導(dǎo)電層薄膜、低輻射LOW-E膜等。
2021-06-28 面議/個(gè)AZO 靶材即在Zno體系中摻雜Al,通過濺射得到Zno:Al 透明導(dǎo)電薄膜,即AZO薄膜,摻雜后薄膜導(dǎo)電性能大幅度提高,廣泛用于制備太陽能電池透明導(dǎo)電層薄膜、低輻射玻璃LOW-E膜等。
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