1000A（100nm）柵極氧化固態劑量計

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技術要求

典型數值在27°C

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氧化層厚度1000A

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輻射Vth靈敏度

輻射場?=?0.125?MV/cm?:?靈敏度?=?0.09mV/rad?輻射場=?0?MV/cm?:?靈敏度=?0.014mV/rad?(靈敏度在?30?krad(H2O)，在以下讀寫器的配置中使用一個恒量10?A)?

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溫度補償

TVTC?2.5mV/°C(該數據出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數值)?

線性模式中Z.T.C.?數值?~?3?A(Vs=Vb=0,?Vds=-0.1)?

飽和模式中Z.T.C.數值?~?30?A(使用以下讀寫器電路配置)?

預輻射劑量計的特點 閾值電壓（外推）-2.15?+/-?0.1V?

Vth漂移時間（秒）2.2mV/十年(該數據出自讀寫器配置強迫40?A.)?

氧化層擊穿電壓?~?75V?

溝道漏電流Vd=-12,?Vg=Vs=Vbulk=0?~?10?pA?

亞閾值斜率100?+/-?20?mV/十年?

溝道電阻Vgs-Vth=5V,?Vds=-0.1?~?0.3?Mohms?

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