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尼康第7~8代玻璃底板吞吐量提高約20%

來源:日經BP社 2008/10/23 0:00:00

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    尼康投產了支持第7代和第8代玻璃底板尺寸的液晶曝光裝置新機型。與該公司原機型相比,吞吐量提高了約20%。

  支持第7代的“FX-75S”非常大可曝光1950mm×2250mm的玻璃底板。將該底板裁切成8枚42英寸面板時的吞吐量為496枚/時,裁切成6枚48英寸面板時的吞吐量為378枚/時。該公司現行產品“FX-73S”的吞吐量為,42英寸時為423枚/時,48英寸時為322枚。換算成制程時間時,處理1枚玻璃底板所用的時間從68秒縮短為58秒。

  支持第8代的“FX-85S”非常大可曝光2200mm×2500mm的玻璃底板。將該底板裁切成8枚46英寸面板時的吞吐量為480枚/時,裁切成6枚52英寸面板時的吞吐量為322枚/時。該公司現行產品“FX-83S”的吞吐量為,46英寸時為400枚/時,52英寸時為263枚。換算成制程時間時,處理1枚玻璃底板所用的時間從72秒縮短為60秒。

  此次投產的2款新機型的銷售起始時間為2008年10月。韓國和寶島的面板廠商計劃在2009年新建及增強第7代和第8代液晶面板生產線。

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