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適用于光學掩膜,硬盤玻璃,觸摸屏,液晶顯示器的高性能拋光產品理性指標灼燒/as?is?%稀土含量/as?is?%氧化鈰/as?is?%中心顆粒(D50Laser,μm)大顆粒含量>15μm(ppm)≤2≥90≥551.0-1.4≤200??拋光性能切削率劃痕懸浮性能再分散性ACBC?A??B很好??C好??D中等??E可接受粒徑分布圖?D10(Laser,μm)0.64D50(Laser,μm)1
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