1、元件直徑8121416202530較小距離253844576879941、選用碳化硅電熱元件，必須保證元件的發熱部長度不大于爐膛的寬度（高度）。

2、在使用元件時應選用合理的表面負荷，選擇此負荷應視元件的使用溫度和環境氣氛而定，詳細數

氣氛爐溫表面符合W/cm2對元件的影響解決辦法氨氣12903.8與sic作用，減少保護膜露點激活co214503.1侵蝕碳化硅，影響元件用石英管保護18%co15004.0無影響20%co13703.8吸附碳顆粒影響二氧化硅保護膜鹵素7043.8侵蝕碳化硅減少保護膜用石英管保護碳氫化合物13103.1吸附碳粒而致熱污染分界的碳沉積造成電氣故障送進充分空氣氫12903.1與sic反應減少保護膜露點激活甲烷13703.1吸附碳顆粒而致污染N13703.1與sic反應形成氮化硅絕緣層Na13103.8侵蝕碳化硅用石英管保護So213103.8侵蝕碳化硅用石英管保護真空12043.8氧13103.8碳化硅被氧化水（不同含量）1090-13703.1-3.6與sic作用生成硅的化合物。

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