氧化物陶瓷靶材屬于陶瓷產品，由于對純度、密度、尺寸、形狀，以及成分、結構、均勻性等都有特殊要求，其制備南都較高。氧化物陶瓷靶材作為重要的關鍵基礎材料，多年來一直被靶材研究人員關注。與德國、日本等世界靶材強國相比，我國陶瓷靶材研究相對落后，但是近年來，隨著全球光電產業的發展，國內大型靶材公司加大投入，取得了很大的成果。

陶瓷靶材結構的發展鍍膜市場不僅對各種鍍膜產品尺寸、鍍膜品質、生產效率及制造成本提出了嚴格的要求，也對陶瓷靶材的結構提出了新的要求。縱觀陶瓷靶材的研究歷程以及市場需求狀況，陶瓷靶材結構的發展趨勢主要體現在以下幾方面。

1. 組織均勻：靶材作為制備大面積薄膜的原材料，如果組織結構不均勻，則會嚴重影響到薄膜的厚度、組分等均勻性，對薄膜性能的均勻性產生很大的影響。如ITO、AZO或IGZO靶材，同一塊靶材或者同一批次靶材其密度均勻性越高，濺射時越不易中毒而產生節瘤，而且制備的薄膜厚度、方阻、透光率更均勻。

2. 高密度化：雖然提高靶材的密度增加了靶材制造的難度，但是對靶材的使用，薄膜產品的質量以及綜合成本的降低有明顯的好處。高密度靶材其表面粗糙度低，有效濺射面大，濺射效率高，靶材本身表面黑化趨勢降低，并且制得的薄膜電阻率低 。同時，高密度陶瓷靶材可以提高靶材的使用壽命，從而降低了靶材的使用成本。

尤特新材是國家高新技術企業，公司成立于二00三年，有經驗從事信息、鍍膜、太陽能材料的科研與生產，是集科研、生產、銷售、服務于一體的中外合資企業。

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