真空噴涂硅靶材性能介紹及其優點

尤特新材料供應各種靶材，噴涂法是利用高壓氣體（N2、H2 、混合氣體或空氣）攜帶粉末顆粒經縮放管產生超音速雙相流，在完全固態下撞擊基體，通過較大的塑性流動變形沉積于綁定背板表面而形成涂層，涂層逐層增厚，獲得陶瓷靶材。由基本的噴涂法又衍生出等離子體噴涂、電弧噴涂、超音速火焰噴涂、冷噴涂等噴涂成型技術。使用氧化鈮粉體和少量金屬Nb，用等離子體噴涂實現了工業化制備旋轉氧化鈮靶材。近年來，用噴涂成型工藝在高端的ITO、AZO、IGZO靶材成型上有了較大的突破，廣州、深圳等地的大型的靶材制造商已成功制備出高性能的靶材。

濕法成型是通過將氧化物粉體制備成漿料，然后通過自我凝固、吸水或者壓濾等方式實現特定外形的素坯，干燥后獲得高密度的素坯。濕法成型不僅可以實現冷等靜壓成型的功能，而且還能彌補冷等靜壓成型的不足。陶瓷靶材的濕法成型有注漿成型、膠態成型、直接凝固成型等。

噴涂法是目前應用較多的技術，其制備的產品品質高，穩定性好。除了以上所述成型方法外，人們還研究了沖擊成型法和爆開成型法等，目前這些新型成型方法尚在研究階段，要實現產業化還有很多研究工作需要進一步細化。目前市場上常用的純硅粉以3N5、3N8、4N純度為主，4N以下原料存在雜質含量高，粒度均勻性差，電阻率穩定性不好等問題（電阻率根據客戶使用需求可以通過摻雜其它元素改變），純度低，雜質含量高靶材在濺射鍍膜時雜質會附在膜表面，產生成膜質量不合格，鍍膜時會出現打弧放電現象。不同純度靶材市場使用反饋情況來看，純度低的靶材容易產生結瘤、靶材放電、膜表面產生灰白點等問題（行業要求不同，對靶材選擇不同，通常半導體、顯示行業對純度要求較高）。

大氣噴涂工藝生產的靶材存在一定的孔隙，孔隙中會存在水分子、氧等空氣中的雜質，嚴格意義上氧、水分子等也是雜質（純度在5N以上的硅靶氧含量低于100ppm），特別是成膜要求對氧有控制的工藝來說，氧含量控制在越低越好。另外，大氣噴涂靶材相對密度較低，一般相對密度≧92%。設備用自主知識產權的最新一代真空噴涂設備，采用了保護氣體等措施來制備產品，具有密度穩定，氧含量低，致密性均勻，電阻率穩定等特點。

真空噴涂硅靶、真空噴涂硅鋁靶、真空噴涂靶材、熱等靜壓鉻靶、大氣噴涂鉻靶

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發展，產業技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。

地區：廣東 廣州 花都區
網址: http://UVTMCOM.glass.com.cn

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計量單位：公斤 供貨總量：9999 最小起訂量：1 產品單價：1950.00 品牌： 規格型號： 包裝說明：