IMEC清洗機型號：FLS-7000/8000/9000系列

設備用途：晶圓化學腐蝕和清洗

1.技術參數：

可處理晶圓材料：硅、砷化鎵、氮化鎵、磷化銦、 碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等

產品尺寸：2~12寸（25片/籃或50片/籃

）2.清除物：金屬、有機物、顆粒、氧化膜 等2.控制方式：

PLC HMI

3.信息交互：

數據讀取，主動傳送MES。

根據具體的加工工序進行工藝設置。

4.工序適用：光刻前清洗，腐蝕，刻蝕等

廣東凡林裝備科技有限公司（簡稱“凡林裝備”）是一家高速發展的工業清洗裝備研發制造企 業，2014年，公司的前身創立于廣東省深圳市，2021年9月引入美國專家BILL博士團隊，聚 焦于工業領域的高端清洗整體解決方案，在物理清洗、化學清洗、電子清洗、靜電清洗等方面均有行業成功應用經驗案例。公司在深圳龍華、東莞塘廈有超過11300平方工業廠房，員工人員78人。公司與華南理工大學及相關研究所人才輸送以及產 研合作；在深圳、蘇州和東莞設置有辦公及生產基地，總面積11300多平方米。公司擁有千級及萬級無塵室，以滿足高端清洗濕法設備的部件清潔及組裝。公司是中國工業清洗協會“ICAC”的理事單位。公司獲得了ISO9001質量管理體系認證，正在進行精益生產體系六西格瑪的認證。展望未來，凡林人將繼續以“使工業清洗更環保、更輕松”為使命，堅持以人為本，科技創 新，產品即人品的經營理念，為客戶提供整體解決方案，解決清洗痛點，致力將公司打造成 中國工業清洗細分領域的行業應用級領軍企業，為中國的環保清洗、智能清洗生產盡一份企 業的力量。主營產品有：1.槽式清洗設備通過清洗治具把產品沒入液體中的一類清洗設備，主要以聲學、化學為主通過液體為介質 的濕法處理設備；工藝槽數可為單槽、多槽；傳輸實現方式有手動、半自動的、全自動。2.平板式清洗設備直接把產品放置在設備上的（也可放置清洗夾具）非全浸入式的一類清洗設備，主要以毛 刷、噴淋為主通過液體為介質的濕法處理設備；工藝段可為毛刷、噴淋單組合、多組合； 傳輸實現方式有半自動、全自動。3.等離子清洗機常壓、真空負壓下清洗，結構及工作形式可分為手持，箱式、在線式。4.非標定制復合清洗機把浸入式、平躺式進行組合，同時把聲學清洗、化學清洗、刷洗、噴洗、蒸汽、等離子 清洗進行的任何單一或多個清洗的組合清洗，統稱為非標組合清洗。主要應用于光學玻璃清洗、半導體元件清洗、新能源光伏玻璃行業、3C光電行業等。

主營產品：玻璃蓋板清洗機,車載玻璃清洗機,光學鏡頭清洗機,晶圓清洗機,硅片清洗機,UTG玻璃清洗機,藍玻璃清洗機,藍寶石清洗機,碳化硅清洗機,RCA清洗機,IMEC清洗機 公司成立年份：2021
公司網址：http://FLSHY.glass.com.cn

地區：廣東 深圳 深圳市
網址: http://FLSHY.glass.com.cn

1、臥式玻璃清洗機采用國標方管骨架；水平臥式結構；2、臥式玻璃清洗機的溫度控制器可調整吹風溫度，從0-90°都可以調整；3、臥式玻璃清洗機的傳動部分使用無級變速機控制,可任意調節清洗速度；4、臥式玻璃清洗機的輸送棍、毛刷棍以及海綿棍均采用耐高溫，耐酸堿材質,使用壽命長；5、臥式玻璃清洗機為密集滾筒帶動設計，加工面積范圍大，循環水清洗玻璃一次完成。6、臥式玻璃清洗機使用離心風機，音量小、風量大；高溫烘干系統，玻璃清洗完成后表面溫度在30-50°左右。